在水中，將距離1cm的兩片表面積為1cm2大小的電極加以通電，來(lái)監測兩極間的導電率，通過(guò)所加電壓和測得的電流能夠獲知兩極間的電阻值，這個(gè)數值在水質(zhì)分析中通常被稱(chēng)為電阻率或比電阻，其單位用MΩ.cm(mega ohm-centimeter)來(lái)表示。電阻率的倒數稱(chēng)為導電率或電導率，用μs/cm(micro Siemens per centimeter)來(lái)表示。這兩個(gè)參數是表示水的純度的zui常用參數。

將自來(lái)水中的離子去除，會(huì )使得電阻率值升高(導電率降低)，單并非無(wú)限制的增加，這是因為部分水分子會(huì )電離為氫離子和氫氧根離子，其電阻率值極限值18.248MΩ.cm(25°C)。此外，電阻率值會(huì )隨著(zhù)水的電離常數而改變，因而會(huì )受到水溫的影響。例如，25°C的超純水，其電阻值為18.2MΩ.cm,但在0°C則為84.2MΩ.cm, 100 °C則為1.3MΩ.cm。在25 °C附近，當溫度上升1 °C，其電阻值將下降0.84MΩ.cm。因此，多使用補償至25°C的電阻率值來(lái)做衡量標準。

此外像總有機炭含量(TOC)，熱源內毒素含量，細菌含量，顆粒含量，微生物含量，總溶解固體含量(TDS)等也常常被用作補充說(shuō)明水質(zhì)的重要參數。因此，水的純度標準通常由以上這些參數的一項或幾項來(lái)綜合說(shuō)明、分級。