電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)

1范圍

本標準規定了電子級水的級別、要求、試驗方法和檢驗規則。

本標準適用于電子元器件生產(chǎn)和清洗用水。

2引用標準

下列標準所包含的條文，通過(guò)在本標準中引用麗構成為本標準的條文。本標準出版時(shí)，所示版本均為有效。所有標準都會(huì )被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準zui新版本的可能性。

GB/T 11446.3——1997 電子級水測試方法通則

GB/T 11446.4——l997 電子級水電阻率的測試方法

GB/T 11446.5——1997 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

GB/T 11446.6——1997 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法

GB/T 11446.7——1997 電子級水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測試方法

GB/T 11446.8——1997 電子級水中總有機碳的測試方法

GB/T 11446.9——1997 電子級水中微粒的儀器測試方法

GB/T 11446.10——1997 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法

3定義

本標準采用下列定義。

3.1電子級水electronic grade water

制造電子元器件工藝過(guò)程中所用的高純水。

3.2電阻率resistivity

在規定溫度下,1 cm2水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號P表示，單位為Ω﹒cm，純水的理論電阻率為18.3 MΩ﹒cm (25℃)。

3.3全硅total silicon

水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量。

3.4可溶性硅soluble silicon

以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽。

3.5微粒性物質(zhì)granular matter

除氣體以外，以非液態(tài)分散在水中，并形成非均相混合物的物質(zhì)。

3.6總有機碳(TOC) total organic carbon

水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。

3.7吸附absorption

某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著(zhù)某些物質(zhì)的能力。

3.8凝聚coagulation

在源水中加入某種電解質(zhì)后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。

3.9絮凝flocculation

水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝一般是在凝聚作用后

緩慢進(jìn)行，可除去水中更細的微粒。

3.10砂濾器sand filter

用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。

3.11活性碳過(guò)濾器activated carbon filter

裝有粒狀活性碳的過(guò)濾器，用于除去水中的可溶性有機物和過(guò)量的殘余氯。

3.12離子交換ion exchange

一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過(guò)程，該過(guò)程中物質(zhì)并無(wú)實(shí)質(zhì)性結構變化。

3.13去離子水deionized water

經(jīng)過(guò)離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水。

3. 14再生regeneration

離子交換過(guò)程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中，用一定量的化學(xué)試劑通過(guò)離子交換樹(shù)脂使其恢復交換能力。

3.15復合床complex bed

將陽(yáng)離子交換樹(shù)脂和陰離子交換樹(shù)脂分別裝入兩個(gè)離子交換柱中，將兩柱串聯(lián)，使水依次通過(guò)兩個(gè)柱而被純化，復合床處理水的純度雖不及混合床，但操作較簡(jiǎn)單。

3.16混合床mixed bed

將陽(yáng)離子交換樹(shù)脂和陰離子交換樹(shù)脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當于許多組合床串聯(lián)使用，出水質(zhì)量好但再生比較麻煩。

3.17電滲析electrodialysia

一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽(yáng)兩極之間用交替排列的陰、陽(yáng)離子交換膜分隔成一系列小室，水流通過(guò)小室時(shí)，在直流電場(chǎng)作用下，水中陽(yáng)離子向陰極方向移動(dòng)，但不能通過(guò)陽(yáng)膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。

3.18反滲透reverse osmosis

亦稱(chēng)逆向滲透。一種利用滲透原理進(jìn)行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開(kāi)，并在濃水上施加比滲透壓更強的機械壓力，則濃水中大部分水透過(guò)半透膜而雜質(zhì)仍留在其中，達到分離提純的目的。

3.19反滲透膜reverse osmosis membrane

用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0. 02 μm或更小，可用于除去無(wú)機離子、有機物、細菌等，使水純化。

3. 20微孔膜濾器membrane filter

一種平均孔徑(直徑)大于0. Olμm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。

3.21超過(guò)濾uhrafihration

一種過(guò)濾方法，在一定壓力下使水流通過(guò)超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等。

3.22終端terminal

高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過(guò)各道凈化工藝后，水的出口或使用地點(diǎn)。

4、分類(lèi)

4.1電子級水分為四個(gè)級別;I級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。

4.2標記

I級電子級水標記為：EW-I;

I級電子級水標記為;EW-Ⅱ;

I級電子級水標記為;EW-Ⅲ;

Ⅳ級電子級水標記為.EW-Ⅳ。

5要求

電子級水的技術(shù)指標應符合表1的規定。

6試驗方法

6.1電阻率

電子級水的電阻率按GB/T11446.4--1997的測試方法進(jìn)行測定。

6.2全硅含量(以二氧化硅計)

電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T11446.6--1997的測試方法進(jìn)行測定。

6.3微粒數

電子級水中微粒數按GB/T11446.9--1997的測試方法進(jìn)行測定。

6.4細菌總數

電子級水中細菌總數按GB/T11446.10--1997的測試方法進(jìn)行測定。

6.5痕量金屬含量

電子級水中痕量金屬的含量按GB/T11446. 5--1997的測試方法進(jìn)行測定。

6.6氯離子，硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級水中氯離子、硫酸根離子、硝酸根離子、磷酸根離子等陰離子的含量按GB/T 11446.7-- 1997的測試方法進(jìn)行測定。

6.7總有機碳含量

電子級水中總機碳含量按GB/T11446.8--1997的測試方法進(jìn)行測定。

7 檢驗規則

7.1檢驗部門(mén)

電子級水的檢驗均應在制造廠(chǎng)的水質(zhì)檢驗部門(mén)進(jìn)行。

7.2檢驗分類(lèi)

電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。

7.3交收檢驗(抽驗項目)

7.3.1電子級水技術(shù)指標中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計)為交收檢驗項目。

7.3.2在用水終端采樣試驗后檢驗結果如有一項不合格時(shí)，應再次采樣進(jìn)行檢驗，如仍有一項指標不合格，應提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。

7.4例行檢驗(全檢項目)

例行檢驗每年進(jìn)行一次，當制水條件發(fā)生變更時(shí)也應進(jìn)行例行檢驗。

7.4.1檢驗項目為表1規定的全部技術(shù)指標要求。

7.4.2在用水終端采樣后進(jìn)行例行檢驗，檢驗結果如有一項以上不合格時(shí)，應再次采樣進(jìn)行檢驗，如仍有一項以上指標不合格，應提出改進(jìn)措施直到水質(zhì)合格。

8 采樣、貯存、運輸及標志

8.1 電子級水的采樣、貯存運輸按GB/T11446.3--1997的規定。

8.2標志：在用水終端采樣進(jìn)行檢驗時(shí)，水質(zhì)合格后應附有檢驗合格證，合格證應注明;

a) 名稱(chēng)及級別;

b) 各項技術(shù)指標;

c) 制水單位;

d) 供水日期;

e) 檢驗員簽章及檢驗日期。