超純水又稱(chēng)UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細菌、病毒等物質(zhì)，當然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水?？梢杂糜诔儾牧希ò雽w原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當的超臨界精細技術(shù)的制備過(guò)程。

在原子光譜、高效液相色譜、超純物質(zhì)分析、痕量物質(zhì)等的某些實(shí)驗中，需要用超純水，超純水的制備如下：

（1）加入少量高錳酸鉀的水源，用玻璃蒸餾裝置進(jìn)行二次蒸餾，再以全石英蒸餾器進(jìn)行蒸餾，收集于石英容器中，可得超純水。

（2）使用強酸型陽(yáng)離子和強堿型陰離子交換樹(shù)脂柱的混合床或串聯(lián)柱?？沙浞殖ニ械年?yáng)、陰離子，其電阻率達10 Q·cm的水，俗稱(chēng)去離子水，再用全石英蒸餾器進(jìn)行蒸餾，收集可得超純水。

超純水可以在以下領(lǐng)域使用：

（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
（2）化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
（3）單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線(xiàn)柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線(xiàn)路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
（4）高壓變電器的清洗等。