高純水/超純水水質(zhì)的標準是什么?
純凈水,指的是不含雜質(zhì)的H2O。
從學(xué)術(shù)角度講,純凈水又稱(chēng)純水、高純水,是指化學(xué)純度極高的水,其主要應用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對水質(zhì)純度要求相當高,所以一般應用zui普遍的還是電子工業(yè)。純水和超純水一般都沒(méi)有統一的標準,通常水的純度是以其電阻率(或電導率)來(lái)表證;也有根據用戶(hù)的需求來(lái)規定。
一般意義上講純水至少應該是去離子水,即水中大部分陰陽(yáng)離子是應該被去除的。細菌、懸浮物等的含量也應是相當低的。目前水質(zhì)要求最高的超純水是半導體行業(yè),根據半導體芯片的大小和線(xiàn)徑的不同水質(zhì)要求也不一樣,其超純水的水質(zhì)指標如下:
電阻率大于18.2兆歐(25攝氏度);
TOC(總有機碳)小于1到10ppb,
DO(溶解氧)小于1到10ppb;
Particle(顆粒):0.05微米小于200個(gè)/升;
離子含量大部分是小于20到50ppt;
細菌檢測:無(wú)。
但對于高純水來(lái)說(shuō)這是不確切的,應檢測純水中某項雜質(zhì)的含量來(lái)表證。這是因為:影響高純水電阻率的主要因素是PH,而不是ppt即10-11M級雜質(zhì),電阻率是衡量水中電解質(zhì)總和的參數,不能表證某一單項雜質(zhì)的含量,而對于高純分析所關(guān)心的不是雜質(zhì)的總含量,而是我們所要分析的某單項雜質(zhì)該元素的含量,即空白值,這顯然不能由電阻率給出的,
總之,對于高純水如果仍以電阻率衡量其水質(zhì),將會(huì )造成錯覺(jué)。因此,我們以無(wú)焰原子吸收光譜法檢查純水的單項雜質(zhì)含量來(lái)表證其水質(zhì),這樣可確切地反映水的純度。而高純水的國家標準為:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我國高純水的標準將電子級水分為五個(gè)級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。高純水的水質(zhì)標準中所規定的各項指標的主要依據有:1.微電子工藝對水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測技術(shù)的現狀。
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