隨著(zhù)科技的不斷發(fā)展，超純水在工業(yè)生產(chǎn)上的使用越來(lái)越頻繁，尤其是現在逐漸壯大的電子工業(yè)的發(fā)展，芯片的生產(chǎn)過(guò)程中需要使用超純水進(jìn)行清理，對水質(zhì)中金屬離子的去除率要求極高。為了保證生產(chǎn)出超大規模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學(xué)藥品外，高純水也是其中關(guān)鍵的因素之一。高純水系統是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。 

　　工業(yè)超純水主要應用于半導體生產(chǎn)中圓片的清洗，且用量較大，其制程也較為復雜為滿(mǎn)足工藝設備對水質(zhì)的要求，必須考慮輸送材料、流速、合理的輸送系統設計。圓片制造中設備需要的氣體、純水、化學(xué)品、冷卻水都是通過(guò)管路輸送的，因此，優(yōu)質(zhì)的超純水系統管道依賴(lài)于優(yōu)質(zhì)工藝設計與施工管理。

　　超純水系統總體來(lái)說(shuō)一般可分為三個(gè)部分： 超純水制造區、超純水拋光循環(huán)區、超純水輸送管網(wǎng)；

　　其中超純水制造區可分為：預處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。預處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠(chǎng)商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池）； 一次純水部分主要包括：陰陽(yáng)離子交換塔、脫氣塔、保安過(guò)濾器、紫外線(xiàn)殺菌器及多級反滲透；

　　超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床及終端過(guò)濾器。 但是由于考慮到在向工藝線(xiàn)設備輸送高純水過(guò)程中，輸水管道會(huì )對水質(zhì)再次造成污染，因而在超純水輸送管網(wǎng)內一般都設立拋光循環(huán)系統。拋光循環(huán)系統主要以混床為核心，再加上超濾設備（UF），以除去在向工藝生產(chǎn)線(xiàn)輸送純水的過(guò)程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。 

　　在超純水系統中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水質(zhì)、又應該做到經(jīng)濟合理。超純水系統中常用管材主要包括：PVC、SGP、SGP（RL）、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。

　　一般在超純水制造區預處理階段多采用PVC管或SUS304管。設備面管一般采用內襯膠鋼管（SGP RL），對于水泵等產(chǎn)生震動(dòng)的動(dòng)力設備周邊采用SUS304管；在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304管。高壓泵與反滲透（RO）之間，由于壓力高，所以須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0Mpa級法蘭。由于RO對水溫有一定要求，因而一般在RO之前有熱交換器，其周邊也應采用SUS304管；在超純水制造階段，主流程一般應采用SUS316管和CPVC管；拋光循環(huán)區主流程一般采用SUS316管（焊接連接，并要求雙面成型）和PVDF管。超純水回收管道采用CPVC管。 

　　在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通PVC管；在純水制造過(guò)程中酸堿等加藥管線(xiàn)，應采用耐沖擊PVC管；純水系統中使用的氮氣系統采用SUS304管，超純水拋光系統所用氮氣管道采用SUS316管；壓縮空氣系統在純水系統中作為氣動(dòng)閥開(kāi)關(guān)動(dòng)力，一般采用SUS304管或SGP管，當采用SGP管時(shí)進(jìn)入電氣盤(pán)前需加過(guò)濾器。 

　　CPVC和PVDF管材在金屬離子及有機碳的析出、無(wú)微細粒子、無(wú)活菌繁殖等方面，都能滿(mǎn)足超純水系統的要求。管材及附件的加工封裝都是在超潔凈環(huán)境中進(jìn)行的，因而這兩種管道的施工也有一定的特殊性。 

　　CPVC管道粘接應采用日本產(chǎn)85號塑料管用膠水。 

　　管道切割應采用電動(dòng)帶鋸式管道切割鋸或旋轉式割管器，盡量避免用手鋸（因為手鋸切管管端毛刺多難處理）。切口的毛刺一定要清除干凈，且要對管端進(jìn)行2~3毫米的倒角，以免粘接時(shí)膠水被刮入承口內，造成因人為施工不當減小粘接面使管道粘接部位泄漏。管件和管道粘接面涂膠一定要均勻，涂膠前對管件的內面及管道的外面先用白布去除外表灰塵，再用無(wú)塵布沾丙酮進(jìn)行脫脂清洗。除以上外更重要的一點(diǎn)就是CPVC管道的潔凈施工，這也是它與其他普通PVC管道施工的最大區別。 

　　CPVC管道粘接施工嚴格的說(shuō)應該在潔凈間內進(jìn)行，而后再采用法蘭在現場(chǎng)連接。但由于施工現場(chǎng)的種種特殊情況，管道往往要在現場(chǎng)進(jìn)行下料粘接安裝。但需注意在現場(chǎng)施工時(shí)，施工區域要相對干凈（不得有很大的灰塵）。粘接施工時(shí)禁止在地面上進(jìn)行，應在加工平臺上進(jìn)行粘接操作。 

　　施工時(shí)一定要戴上專(zhuān)用潔凈一次性手套，施工過(guò)程中禁止徒手接觸管道的內壁（因為手上的油脂粘在管內壁很難沖洗干凈）。管道在插入時(shí)使用緊線(xiàn)器，并劃線(xiàn)以確認插入的深度是否足夠。法蘭間密封材料應用PTFE（聚四氟乙烯）。堆放場(chǎng)所需要墊上彩條布或塑料薄膜對管道進(jìn)行保護。 

　　PVDF管道全部采用焊接連接。 

　　在施工過(guò)程中，對于操作過(guò)程更要注意潔凈，同時(shí)對于施工環(huán)境的要求更加嚴格。 PVDF管道焊接必須在潔凈小室內進(jìn)行，不得在一般的房間內進(jìn)行施工。進(jìn)入潔凈加工間必須換上專(zhuān)用鞋，管口及附件在潔凈間外必須封口不得外露。對于管件的包裝材料必須在施工前才能開(kāi)封，在焊接操作時(shí)必須帶好一次性潔凈PVC手套，焊接前必須用異丙醇、酒精或丙酮對管端進(jìn)行脫脂、清洗。清洗用布要采用無(wú)塵潔凈布，不干凈的無(wú)塵布要及時(shí)更換。輔助焊接的人員也須帶上潔凈棉手套。對于每一個(gè)焊口，焊完之后必須及時(shí)進(jìn)行外觀(guān)檢查，要求焊口四周的焊露高低均勻，并高于管道外壁。 

在PVDF管道焊完之后必須及時(shí)對管口進(jìn)行封扎，再運到現場(chǎng)采用法蘭連接，法蘭間的密封材料采用PTFE。管道安裝時(shí)先在現場(chǎng)量取尺寸繪制詳細的安裝加工圖，再由專(zhuān)人進(jìn)行管道焊接加工。焊接、安裝人員各負其責以提高工作效益。

　　總之在超純水系統施工過(guò)程中，除了要滿(mǎn)足管道系統的密閉要求外，更重要的就是要注意提高施工人員的潔凈意識，使他們能自覺(jué)的按照潔凈管道施工要求去做，根據水處理不同階段的不同要求進(jìn)行施工，以避免因施工不當對管道造成污染，使得處理水質(zhì)達不到業(yè)主要求，引起質(zhì)量事故的發(fā)生。